再循环空气单元用于为设施提供清洁和回火的空气，作为吊顶送风系统和风机过滤器单元的补充或替代。 再循环空气需要过滤以保护人员，过程和产品。

洁净室或小型环境中的微电子工艺需要防止颗粒和分子气态污染物。 工艺包括光刻，涂布显影，蚀刻，扩散，金属化，薄膜，离子注入，检查工具和光罩储料器。

空气处理单元为工业提供经过过滤处理的洁净空气，来保护设施系统的关键部件，用于产生房间正压并补偿排气。 补充的空气需要适当的过滤，以保护盘管、管道、人员、工艺和产品。

洁净室吊顶旨在为洁净室设备，工艺和制造产品的分子（气相），纳米颗粒和微米颗粒提供高保护水平。 根据洁净室设计，天花板使用层流或湍流气流。